대한오토텍

고객과 함께하는 (주)대한오토텍

언제나 가장 가까운 곳에서 고객과 함께 걸어가겠습니다.

각종 Ring (Transfer, Finger)

재질	알루미나 파인 세라믹	적용제품	반도체, 디스플레이장비
적용공정	TFT, Etcher	기능	Wafer, Panel 제작용

각종 Arm (Transfer, Finger)

재질	알루미나 파인 세라믹	적용제품	반도체, 디스플레이장비
적용공정	TFT, Etcher, Package	기능	Wafer, Panel 제작용

Ring, Tray

재질	SiC, Si	적용제품	반도체, 디스플레이장비
적용공정	TFT, Etcher	기능	Wafer, Panel 제작용

Shadow mask

재질	알루미나 파인 세라믹	적용제품	반도체,디스플레이장비
적용공정	노광 공정	기능	Panel 제작용

SiC Bonding Stage

재질	SiC (High purity. Low resistance)	적용제품	반도체,디스플레이장비
적용공정	OLB, Module	기능	IC Bonding 제작용

Stepper Chuck

재질	SiC, 알루미나	적용제품	반도체,디스플레이장비
적용공정	노광공정	기능	노광 정전척

Etcher Window

재질	Sapphire	적용제품	반도체,디스플레이장비
적용공정	Etcher 장비	기능	Window

Quartz Tube 가공

재질	Quartz	적용제품	반도체,디스플레이장비
적용공정	Etcher 장비	기능	Quartz Tube Laser cut

Nozzle

재질	Quartz	적용제품	반도체,디스플레이장비
적용공정	Etcher 장비	기능	Nozzle, Ring

Bare Wafer Thinning

재질	Si, Glass, SUS, Cu, Ni	적용제품	반도체,디스플레이
적용공정	Wafer 공정	기능	초정밀 연마 가공